壓電式傳感器用于測(cè)量力和能變換為電的非電物理量。它的優(yōu)點(diǎn)是頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠和重量輕等。缺點(diǎn)是某些壓電材料需要防潮措施,而且輸出的直流響應(yīng)差,需要采用高輸入阻抗電路或電荷放大器來克服這一缺陷。
1、壓電式測(cè)力傳感器 壓電式測(cè)力傳感器是利用壓電元件直接實(shí)現(xiàn)力-電轉(zhuǎn)換的傳感器,在拉、壓場(chǎng)合,通常較多采用雙片或多片石英晶體作為壓電元件。其剛度大,測(cè)量范圍寬,線性及穩(wěn)定性高,動(dòng)態(tài)特性好。當(dāng)采用大時(shí)間常數(shù)的電荷放大器時(shí),可測(cè)量準(zhǔn)靜態(tài)力。按測(cè)力狀態(tài)分,有單向、雙向和三向傳感器,它們?cè)诮Y(jié)構(gòu)上基本一樣。 2、壓電式加速度傳感器 壓電元件一般由兩片壓電片組成。在壓電片的兩個(gè)表面上鍍銀層,并在銀層上焊接輸出引線,或在兩個(gè)壓電片之間夾一片金屬,引線就焊接在金屬片上,輸出端的另一根引線直接與傳感器基座相連。在壓電片上放置一個(gè)比重較大的質(zhì)量塊,然后用一硬彈簧或螺栓、螺帽對(duì)質(zhì)量塊預(yù)加載荷。整個(gè)組件裝在一個(gè)厚基座的金屬殼體中,為了隔離試件的任何應(yīng)變傳遞到壓電元件上去,避免產(chǎn)生假信號(hào)輸出,所以一般要加厚基座或選用剛度較大的材料來制造。 目前制作壓電式傳感器的材料有很多,其中可分為壓電單晶、壓電多晶和有機(jī)壓電材料。壓電式傳感器中用得最多的是屬于壓電多晶的各類壓電陶瓷和壓電單晶中的石英晶體。其他壓電單晶還有適用于高溫輻射環(huán)境的鈮酸鋰以及鉭酸鋰、鎵酸鋰、鍺酸鉍等。 如今的大型精密系統(tǒng)對(duì)質(zhì)量和體積大小都非常的關(guān)注,傳統(tǒng)的大塊頭的壓電傳感器將逐步的失去其市場(chǎng)。隨著新材料及新加工技術(shù)的開發(fā),利用激光等各種微細(xì)加工技術(shù)制成的硅加速度傳感器由于具有體積非常的小、互換性及可靠性都很好的吸引力,正在逐步取代傳統(tǒng)的壓電傳感器。壓電傳感器的功能已經(jīng)突破傳統(tǒng)的功能,其輸出不再是一個(gè)單一的模擬信號(hào),而是經(jīng)過微電腦處理后的數(shù)字信號(hào),有的壓電傳感如集成后的壓電傳感器其本身帶有控制功能,也就是數(shù)字傳感器,這是一大發(fā)展趨勢(shì)。
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