GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，...品牌：BROOKS型號(hào)：GP200系列BROOKS流量控制器GP200系列.pdf GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，因?yàn)樗藢?duì)壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。 性能特點(diǎn)本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址通過(guò)消除匹配和深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司為您提供BROOKS流量控制器GP200系列等產(chǎn)品的價(jià)格，專業(yè)銷售，可定做產(chǎn)品，可直接聯(lián)系咨詢型號(hào)價(jià)格貨期等，價(jià)格美麗，期待您的來(lái)電，真誠(chéng)的期待與您合作，華聯(lián)歐集歐美工業(yè)產(chǎn)品銷售于一體 ， 產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求量身定制。假一罰六~
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，...
品牌：BROOKS
型號(hào)：GP200系列
BROOKS流量控制器GP200系列.pdf
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，因?yàn)樗藢?duì)壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。
性能特點(diǎn)
本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址
通過(guò)消除匹配和補(bǔ)償兩個(gè)獨(dú)立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術(shù)降低了測(cè)量不確定性，從而提高了精度、可重復(fù)性和漂移性能。
由于 GP200 差壓傳感器專門針對(duì)低壓差測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化，現(xiàn)在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實(shí)現(xiàn)更安全的工廠操作。
下游閥門結(jié)構(gòu)確保精度獨(dú)立于下游壓力，使流量能夠在高達(dá) 1200 Torr 的壓力下輸送?？焖訇P(guān)閉閥解決了非生產(chǎn)性配方等待時(shí)間或 尾部效應(yīng) ，這在上游 MFC 閥門設(shè)計(jì)中可見(jiàn)，需要額外的時(shí)間來(lái)排出其內(nèi)部氣體體積。
快、高度可重復(fù)的上升和下降流動(dòng)穩(wěn)定時(shí)間可在先進(jìn)的高循環(huán)沉積和蝕刻工藝中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的工藝控制。
閥門關(guān)閉性能提高 100 倍
借助 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量范圍通?？梢园?3:1 的比例重新縮小，而不會(huì)影響規(guī)格的精度、量程比或泄漏，從而實(shí)現(xiàn)工藝和庫(kù)存靈活性
方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除
響應(yīng)時(shí)間：280 20 ms匹配的瞬態(tài)響應(yīng)，對(duì)于任何上升或下降的非零設(shè)定點(diǎn)
多氣和范圍可配置性：MultiFlo標(biāo)準(zhǔn)
控制范圍：
零泄漏閥：0.5-100％F.S。
金屬密封閥：2-100％F.S。
零穩(wěn)定性： 0.15％F.S每年
流動(dòng)溫度系數(shù)：
零：0.005％F.S 每 C
跨度：0.05％S.P.每 C
機(jī)械參數(shù)：
密封材料：金屬
純度 /表面飾面：5 inch Ra avg
接液材料：316L
Hastelloy C-22
316/316L Stainless Steel
304 Stainless Steel
KM-45
PCTFE
閥門選項(xiàng)：通常關(guān)閉
max溫度：60℃
壓差范圍：
min：7 psid
max：50 psid
max壓力：150 psia
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