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FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質(zhì)量流量/壓力計適用于在真空和17bar（a）之間的工作壓力下測量0 500 mln/min和0 20 ln/min之間的流量范圍。該儀器結(jié)合了基于毛細管MEMS技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器和精確可靠的旁路結(jié)構(gòu)。由于獨特的TCS技術(shù)（通過芯片傳感器），建立了與溫度和管路壓力變化無關(guān)的精確質(zhì)量流量測量。結(jié)合集成的溫度和上下游壓力傳感器，22種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫可實現(xiàn)準確的車載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀表為用戶提供有用的過程信息：
-型號FF-M10：流量+溫度
-型號FF-M11：流量+溫度+上下游壓力
性能特點壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0 17 bar（a）
精度（包括線性度）（基于實際校準）：高達 0,5%Rdplus 0,1%FS（N2/空氣/O2）；
對于其他氣體，增加轉(zhuǎn)換不確定性；
重復(fù)性：
流量傳感器： 0,2%Rd；
壓力傳感器： 0,2%FS
減速比：高達1:1000
工作壓力：max.16 bar g
22種獨特氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數(shù)據(jù)
響應(yīng)時間（傳感器）： 30 ms（T63）
3年內(nèi)長期穩(wěn)定性： 0,5%FS；則每年 0,2%FS
安裝任何：位置，姿態(tài)靈敏度可忽略不計
溫度靈敏度流量傳感器：零00015%FS/ C；量程0,03%Rd/ C；
壓力傳感器：零0,16 mbar/ C；量程0,05%Rd/ C
溫度精度： 0,2 C（儀器本體溫度）
精度壓力傳感器： 0,5%FS
壓力敏感度標準： 0,15%Rd/bar典型N2；
壓力校正： 0.02%Rd典型N2
泄漏完整性，外側(cè)測試： 2 x 10-9mbar l/s He
機械部分
儀表本體：鋁或不銹鋼（可選）
材料（濕部件）：鋁、不銹鋼、氮化硅、環(huán)氧樹脂、氧化鋁、玻璃
表面質(zhì)量： 1.6 Ra（不銹鋼閥體 0.8 Ra）
壓力等級（PN）：16 bar（g）/250 psig
工藝連接可選：壓縮式、推入式或端面密封聯(lián)軸器
密封件默認值：FKM 51415；
其他材料：請聯(lián)系工廠
重量：200 g，鋁閥體，300 g，不銹鋼316閥體
防護等級：IP40
電氣特性
電源：24 Vdc 10%
功耗：max.0,35瓦
數(shù)字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可選）
支持USB-C接口，便于設(shè)置；
用于監(jiān)控的可選藍牙連接
電氣連接：9針D-sub（公頭）
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