+86 0755 83233703
壓力傳感器的發(fā)展以及優(yōu)缺點(diǎn)
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐、儀器儀表控制中*為常用的一種傳感器，并*應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。
力學(xué)傳感器的種類(lèi)繁多，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用*為*的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類(lèi)傳感器。
壓阻式壓力傳感器原理與應(yīng)用：
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。壓阻式傳感器常用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測(cè)量和控制。
壓阻效應(yīng)
當(dāng)力作用于硅晶體時(shí)，晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個(gè)能谷向另一個(gè)能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì)，前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應(yīng)變），而且前者的靈敏度比后者大50～*倍。
壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)
壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。
1954年C.S.史密斯詳細(xì)研究了硅的壓阻效應(yīng)，從此開(kāi)始用硅制造壓力傳感器。早期的硅壓力傳感器是半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)式的。后來(lái)在 N型硅片上定域擴(kuò)散P型雜質(zhì)形成電阻條，并接成電橋,制成芯片。此芯片仍需粘貼在彈性元件上才能敏感壓力的變化。采用這種芯片作為敏感元件的傳感器稱為擴(kuò)散型壓力傳感器。這兩種傳感器都同樣采用粘片結(jié)構(gòu)，因而存在滯后和蠕變大、固有頻率低、不適于動(dòng)態(tài)測(cè)量以及難于小型化和集成化、精度不高等缺點(diǎn)。70年代以來(lái)制成了周邊固定支撐的電阻和硅膜片的一體化硅杯式擴(kuò)散型壓力傳感器。它不僅克服了粘片結(jié)構(gòu)的固有缺陷，而且能將電阻條、補(bǔ)償電路和信號(hào)調(diào)整電路集成在一塊硅片上，甚至將微型處理器與傳感器集成在一起，制成智能傳感器。
這種新型傳感器的優(yōu)點(diǎn)是: ① 頻率響應(yīng)高(例如有的產(chǎn)品固有頻率達(dá)1.5兆赫以上),適于動(dòng)態(tài)測(cè)量; ② 體積小（例如有的產(chǎn)品外徑可達(dá)0.25毫米），適于微型化； ③ 精度高，可達(dá)0.1～0.01％； ④ 靈敏高,比金屬應(yīng)變計(jì)高出很多倍，有些應(yīng)用場(chǎng)合可不加放大器； ⑤ 無(wú)活動(dòng)部件，可靠性高，能工作于振動(dòng)、沖擊、腐蝕、強(qiáng)干擾等惡劣環(huán) 境。其缺點(diǎn)是溫度影響較大（有時(shí)需進(jìn)行溫度補(bǔ)償）、工藝較復(fù)雜和造價(jià)高等。
缺點(diǎn)是： ① 溫度特性差，由于壓阻式壓力傳感器是用半導(dǎo)體材料制作的，受溫度影 響較大，因此，在溫度變化大的環(huán)境中使用時(shí)，必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
溫馨告知：我公司并非全部品牌授權(quán)代理。我公司僅作為貿(mào)易公司為客戶提供本網(wǎng)站上品牌的產(chǎn)品折扣優(yōu)惠和快速交貨周期。本網(wǎng)站內(nèi)容里涉及到的品牌歸屬權(quán)和使用權(quán)都屬于原廠商所有。KISTLER
聲明：本站部分信息源于第三方公開(kāi)數(shù)據(jù)或網(wǎng)上轉(zhuǎn)載，觀點(diǎn)僅代表作者本人，本站僅整合提供參考，不代表本站立場(chǎng)。如有侵權(quán)或者其他問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司 深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司旨在為廣大新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和卓越的服務(wù)，時(shí)刻關(guān)注自身產(chǎn)品質(zhì)量和客戶關(guān)系的建立與維護(hù)，隨著客戶產(chǎn)品需求的提高，我們也一直在努力完善自身的技術(shù)和服務(wù)，力求滿足客戶對(duì)技術(shù)和服務(wù)的要求。現(xiàn)已擁有大量的客戶群體及豐富的貨源，公司本著以客戶的利益為先，以長(zhǎng)期的合作關(guān)系為重，以可靠的產(chǎn)品為根，以全面的服務(wù)為本，切實(shí)的創(chuàng)造與客戶良好的合作氛圍。以上《壓力傳感器的發(fā)展以及優(yōu)缺點(diǎn)【詳解】》信息看完之后是否對(duì)您有所幫助呢，其實(shí)產(chǎn)品價(jià)格篩選上，我們更應(yīng)該注重產(chǎn)品的品質(zhì)，兩者需要兼顧，實(shí)際使用中的完美效果相信也是大家所最需要的。更多《壓力傳感器的發(fā)展以及優(yōu)缺點(diǎn)》問(wèn)題可咨詢我們，可免費(fèi)提供產(chǎn)品型號(hào)、報(bào)價(jià)、貨期等信息。
電話： 0755-83233703
