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Rohsonics超聲波傳感器,Rohsonics分析儀,Rhosonics密度計(jì)
瀏覽次數(shù):645      發(fā)布于:2023-10-09
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從一開始,Rohsonics就一直在進(jìn)行研究和設(shè)計(jì),以創(chuàng)造市場上最好的技術(shù)濃度和密度分析儀,Rohsonics的測量儀器可用于許多最關(guān)鍵和最苛刻的應(yīng)用。例如,這些儀器用于疏浚船上、礦物加工廠的密度測量,以及電子/半導(dǎo)體行業(yè)中三元或四元液體中的濃度測量。


Rohsonics正在幫助礦物加工行業(yè)創(chuàng)造一個(gè)安全、愉快的工作環(huán)境。Rhosonics通過提供用于漿料密度測量的非核技術(shù)來做到這一點(diǎn)。Rhosonics的超聲波密度計(jì)消除了與輻射源設(shè)備相關(guān)的所有成本、健康和安全風(fēng)險(xiǎn)。此外,該設(shè)備易于使用,無需任何許可證,并提供可靠的密度值來監(jiān)控和提高生產(chǎn)輸出。在越來越多的工業(yè)應(yīng)用中,密度測量不再需要使用輻射源。

Rohsonics開發(fā)了超聲波SDM密度計(jì),以準(zhǔn)確可靠地測量礦漿的密度。Rohsonics在磷酸鹽、金、銀、鐵礦石和許多其他礦物加工操作的采礦泥漿在線測量方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。在線密度測量對于監(jiān)測分離過程非常有用,尤其是當(dāng)您考慮如果產(chǎn)品不一致或質(zhì)量太低時(shí)會(huì)發(fā)生什么。應(yīng)用示例包括研磨回路中的密度測量、浮選回路和濃縮工藝等。

Rhosonics的超聲波技術(shù)通過同時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)測多種化學(xué)品濃度,可以更好地監(jiān)督過程。 技術(shù)的選擇取決于需要測量的化學(xué)溶液中的濃度,Rhosonics的測量精度可達(dá)0.0001重量±%。值得一提的是,Rhosonics技術(shù)可用于以下領(lǐng)域的一些主要化學(xué)品或化學(xué)濃度:

清潔和拋光:CMP漿料,H2O2,HF,NH3,BHF,KOF,HNO3,SC1,SC2,APM,食人魚溶液,HCl,C6H8O7:H20,王水,碘溶液,鹽酸,HNO3,C3H8O(異丙醇),C3H6O(丙酮),(CH3)2CHOH,APM

光刻膠和剝離:TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, 二甲基亞砜 (DMSO), CeO2

蝕刻:四甲基氫氧化銨,四甲基銨+ PR + CO3,TBHA,H2SO4,HF,HNO3,KOH,C2HCl3,海航

使用Rhosonics超聲波技術(shù)可以虛擬測量生產(chǎn)過程中任何類型的化學(xué)品或固體溶液。除了半導(dǎo)體應(yīng)用外,太陽能電池板和平板顯示器也有類似的工藝,其中Rhosonics技術(shù)也可以應(yīng)用。超聲波技術(shù)可以虛擬測量生產(chǎn)過程中任何類型的化學(xué)品或固體溶液。除了半導(dǎo)體應(yīng)用外,太陽能電池板和平板顯示器也有類似的工藝。


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Rhosonics幫助平板顯示器行業(yè)使用超聲波技術(shù)進(jìn)行在線實(shí)時(shí)測量,通過該技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)過程優(yōu)化,從而實(shí)現(xiàn)更安全、更可靠、可持續(xù)和具有成本效益的操作,這就是Rhosonics為智能和綠色世界做出貢獻(xiàn)的方式。

Rhosonics分析為化學(xué)混合中的在線分析提供解決方案,在線分析儀服務(wù)于幾乎所有電子行業(yè),可用于以下應(yīng)用:

LCD和TFT制作

Rhosonics在線過程分析儀廣泛用于LCD平板顯示器的生產(chǎn)。在這個(gè)行業(yè)中,使用蝕刻劑(ITO-Etch),剝離劑和顯影劑(如TMAH)。光刻膠的測量在這個(gè)行業(yè)中變得越來越重要。

羅索尼斯開發(fā)了一種用于測量TMAH+PR的特殊儀器(CCM B32),剝離劑用于去除光刻過程中殘留的光刻膠,檸檬酸通常用作乙酸的替代品,醋酸通常會(huì)在暗室中留下強(qiáng)烈的氣味。Rhosonics能夠在線測量這些液體。洗滌劑和表面活性劑可以很容易地測量。


光刻

在平板顯示器過程中,濃度測量對于防止清潔或濕法蝕刻過程中出現(xiàn)問題非常重要。

• 清洗步驟 在工藝步驟

之后,應(yīng)用化學(xué)品清潔使用的材料,以防止在下一步中污染。清潔步驟的目標(biāo)是去除先前步驟中可能影響后續(xù)步驟性能的殘留物。清潔化學(xué)品應(yīng)具有正確的濃度,以有效清潔晶圓表面。否則,晶圓可能含有不需要的有機(jī)/無機(jī)材料。 未正確清潔的晶圓在生產(chǎn)線完成后將無法達(dá)到所需的質(zhì)量。因此,該產(chǎn)品將被計(jì)為有缺陷的產(chǎn)品或作為低性能芯片出售。

• 開發(fā)步驟

裸露的晶圓在浸浴中或通過噴涂進(jìn)行顯影。暴露區(qū)域?qū)⒈灰瞥虮A簦唧w取決于抗蝕劑類型(負(fù)或正)。此步驟對于創(chuàng)建完美的抗蝕劑圖案以控制基板的哪個(gè)部分將被蝕刻非常重要。正抗蝕劑或負(fù)極抗蝕劑模式應(yīng)與預(yù)期相同,否則,在下一步中將去除基材的錯(cuò)誤區(qū)域,從而導(dǎo)致無效產(chǎn)品。 與光刻工藝的每個(gè)生產(chǎn)步驟一樣,精度是在開發(fā)階段實(shí)現(xiàn)預(yù)期結(jié)果的關(guān)鍵。光刻膠顯影劑(例如TMAH)的濃度應(yīng)保持在最佳范圍內(nèi),以有效去除預(yù)期區(qū)域中的光刻膠。

例如,典型的四甲基氫氧化銨溶液應(yīng)保持在2.38%-2.62%的濃度之間。實(shí)時(shí)和準(zhǔn)確的分析儀將有助于控制化學(xué)性質(zhì)并進(jìn)行有效操作。

• 濕法蝕刻步驟

濕法蝕刻(或各向同性蝕刻)是一種快速蝕刻材料的方法。在濕法蝕刻工藝中,不同類型的化學(xué)品用于在某些材料(通常是硅晶片)的基板上創(chuàng)建圖案?,F(xiàn)在的趨勢是更小、更緊湊的芯片組,因此這個(gè)過程的挑戰(zhàn)是使用正確的化學(xué)濃度在基板中精確地創(chuàng)建更復(fù)雜的圖案。


Rhosonics CDM代表基于化學(xué)的漿料密度計(jì),該類別的儀器允許實(shí)時(shí)測量密度。CDM 采用堅(jiān)固的設(shè)計(jì),傳感器由高耐腐蝕和耐磨材料制成,可承受惡劣的工藝條件。

化學(xué)密度計(jì)可用于各種需要測量化學(xué)漿液或液體的應(yīng)用。使用該技術(shù)的一些行業(yè)是:

• 采礦

• 礦石精煉廠

• 紙漿和造紙

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