GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設(shè)計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，...品牌：BROOKS型號：GP200系列BROOKS流量控制器GP200系列.pdf GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設(shè)計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，因為它消除了對壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。 性能特點本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址通過消除匹配和深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司為您提供BROOKS流量控制器GP200系列等產(chǎn)品的價格，專業(yè)銷售，可定做產(chǎn)品，可直接聯(lián)系咨詢型號價格貨期等，價格美麗，期待您的來電，真誠的期待與您合作，華聯(lián)歐集歐美工業(yè)產(chǎn)品銷售于一體 ， 產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求量身定制。假一罰六~
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設(shè)計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，...
品牌：BROOKS
型號：GP200系列
BROOKS流量控制器GP200系列.pdf
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設(shè)計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，因為它消除了對壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。
性能特點
本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址
通過消除匹配和補償兩個獨立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術(shù)降低了測量不確定性，從而提高了精度、可重復(fù)性和漂移性能。
由于 GP200 差壓傳感器專門針對低壓差測量進行了優(yōu)化，現(xiàn)在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實現(xiàn)更安全的工廠操作。
下游閥門結(jié)構(gòu)確保精度獨立于下游壓力，使流量能夠在高達 1200 Torr 的壓力下輸送。快速關(guān)閉閥解決了非生產(chǎn)性配方等待時間或 尾部效應(yīng) ，這在上游 MFC 閥門設(shè)計中可見，需要額外的時間來排出其內(nèi)部氣體體積。
快、高度可重復(fù)的上升和下降流動穩(wěn)定時間可在先進的高循環(huán)沉積和蝕刻工藝中實現(xiàn)更嚴格的工藝控制。
閥門關(guān)閉性能提高 100 倍
借助 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量范圍通?？梢园?3:1 的比例重新縮小，而不會影響規(guī)格的精度、量程比或泄漏，從而實現(xiàn)工藝和庫存靈活性
方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除
響應(yīng)時間：280 20 ms匹配的瞬態(tài)響應(yīng)，對于任何上升或下降的非零設(shè)定點
多氣和范圍可配置性：MultiFlo標準
控制范圍：
零泄漏閥：0.5-100％F.S。
金屬密封閥：2-100％F.S。
零穩(wěn)定性： 0.15％F.S每年
流動溫度系數(shù)：
零：0.005％F.S 每 C
跨度：0.05％S.P.每 C
機械參數(shù)：
密封材料：金屬
純度 /表面飾面：5 inch Ra avg
接液材料：316L
Hastelloy C-22
316/316L Stainless Steel
304 Stainless Steel
KM-45
PCTFE
閥門選項：通常關(guān)閉
max溫度：60℃
壓差范圍：
min：7 psid
max：50 psid
max壓力：150 psia
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