PURERON陶瓷氣體過濾器PGF
瀏覽次數(shù):884 發(fā)布于:2023-04-01
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)品牌:PURERON型號(hào):PGFPURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列.pdf 具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下) 性能特點(diǎn)對于亞微米LSI工藝,須向使用點(diǎn)供應(yīng)高純度工藝氣體。為此,超清潔管道也是一個(gè)主要問題。為了滿足這些要求,Pureron Japan開發(fā)了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器,并在穩(wěn)定條件下實(shí)現(xiàn)了0.003 m深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司長期優(yōu)勢供應(yīng)PURERON陶瓷氣體過濾器PGF等產(chǎn)品,100%正品保證,價(jià)格優(yōu)惠,貨期快,型號(hào)全,歡迎前來咨詢合作。所有歐美工控產(chǎn)品型號(hào)齊全,質(zhì)量保證,價(jià)格全網(wǎng)最低,而且報(bào)價(jià)快,貨期短,歡迎來電咨詢!
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)
品牌:PURERON
型號(hào):PGF
PURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列.pdf
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)
性能特點(diǎn)
對于亞微米LSI工藝,須向使用點(diǎn)供應(yīng)高純度工藝氣體。為此,超清潔管道也是一個(gè)主要問題。為了滿足這些要求,Pureron Japan開發(fā)了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器,并在穩(wěn)定條件下實(shí)現(xiàn)了0.003 m的高精度過濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。
去除諸如水和氧的雜質(zhì)對于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質(zhì),高溫烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷過濾器就是從這個(gè)角度開發(fā)的,可以在200 C下進(jìn)行高溫烘烤。通過免維護(hù)操作降低成本。
三層過濾結(jié)構(gòu),取決于顆粒直徑的大小,很少產(chǎn)生堵塞。與傳統(tǒng)過濾器相比,陶瓷過濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此,生產(chǎn)停工造成的損失很小,實(shí)現(xiàn)了長期成本降低。
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